電子ビームで精製されたニオブ ターゲットは、ニオブ インゴットから製造されます。ターゲットの製造には、機械加工、機械加工 (トリミングと平面フライス加工)、真空再結晶化焼鈍、仕上げ化学処理が含まれます。
通常、材料内の気孔を減らしてスパッタフィルムの性能を向上させるには、ターゲット材料の高密度化が必要です。密度はスパッタリング速度だけでなく、フィルムの電気的および光学的特性にも影響します。ターゲット材料の密度が高いほど、フィルムの性能は向上します。
さらに、ターゲット材料の密度と強度を高めることで、スパッタリングプロセス中の熱応力にさらによく耐えることができます。密度もターゲット材料の重要な性能指標の 1 つです。
写真が示すように、使用後の製品の表面は鏡のように滑らかで滑らかです。当社の製品の均一な粒子サイズと安定した品質により、完璧な効果が保証されます。当社のニオブ10ジルコニウムターゲット（Nb10Zr）とニオブ1ジルコニウム（Nb-1Zr）も同様の品質を実現しています。
ニオブとその合金膜の主要成分として、ニオブスパッタリングターゲット材料は、カラーTFT LCDパネルPC、光学レンズ、電子イメージング、情報ストレージ、太陽電池、ガラスコーティング、および船舶や化学生産分野などの耐腐食環境で広く使用されています。
現在、ニオブスパッタリングターゲット材料は、主に先進的なタッチスクリーン、フラットパネルディスプレイ、省エネガラスの表面コーティングに応用されており、ガラススクリーンの反射防止効果があります。
