ジルコニウムターゲット

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製品詳細

ジルコニウムターゲットの紹介

ジルコニウムスパッタリングターゲット
通常材料: R60702 R60705
特殊材料:
フランスから輸入したヨウ素化ジルコニウム棒を電子衝撃炉で溶解、鍛造し、機械で追加した高純度ジルコニウムターゲットです。 ジルコニウム含有量は 99.95% に達します。
仕様:
円筒形ターゲット: 直径 58 mm x 厚さ 30 mm、直径 100 mm x 厚さ 40 mm、直径 85 mm x 厚さ 45 mm など。
ボード ターゲット: 8 mm x 170 mm x 300 mm、14 mm x 150 mm x 500 mm、6 mm x 125 mm x 500 mm など。
管 ターゲット: 外径 148 mm x 重量 11.5 mm x 長さ 686 mm、外径 88 mm x 重量 10 mm x 長さ 1230 mm など。

非核工業用ジルコニウムターゲットの化学組成
製品 化学組成 (wt%) ≤ 標準
Zr+Hf ≥ Hf Fe+Cr Sn H N C Nb O
R60700 99.2 4.5 0.20 (最大) - 0.005 0.025 0.05 - 0.10 ASTM B551/551M
R60702 99.2 4.5 0.20 (最大) - 0.005 0.025 0.05 - 0.16
R60704 97.5 4.5 0.20 - 0.40 1.0 - 2.0 0.005 0.025 0.05 - 0.18
R60705 95.5 4.5 0.20 (最大) - 0.005 0.025 0.05 2.0 - 3.0 0.18
R60706 95.5 4.5 0.20 (最大) - 0.005 0.025 0.05 2.0 - 3.0 0.16

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